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낸드 식각가스 대격변…제논·크립톤 줄이고 '아르곤' 쓴다 - 전자부품 전문 미디어 디일렉
삼성전자와 SK하이닉스 등 주요 반도체 기업이 차세대 낸드플래시 모멘텀 가스로 아르곤을 사용하는 방안을 추진 중인 것으로 확인됐다. 기존 모멘텀 가스로는 제논, 크립톤 등 희귀 가스가 사
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